太阳能光伏/计量系统
用于太阳能/光伏晶圆的过程监控
多通道厚度，TTV和弓测量模块，用于太阳能/光伏晶片和其他材料的过程监测。
- 每个机架最多有三个厚度通道
- 专有的MTII推/拉电容探头适用于所有类型的晶圆片
- 最小，最大，平均和总厚度变化测量
- 弓形测量(需要3对探头)
- 集成数据采集和控制电子设备
- 快速以太网通信端口，生产速率高达5片/秒
- 可扩展的增加的厚度线扫描数量
- 数字I/O接口与现有晶圆处理设备
- 基于Windows®的控制程序，用于本地或远程数据监控
- 基于Windows®的DLL包与现有的控制PC的集成
- 可提供标准和定制的探针尺寸
| 产品信息 | 技术规格 | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| P / N | 模型 | 测量范围 | 对峙 | 接口 | 类型 | 请求的信息 | ||||||
| 8000-4316-001 | 厚度系统 | 选择页探针 | 选择页探针 | 以太网 | 多达6通道机架 | 请求的信息PV-1000厚度系统-1 | ||||||
| 8000-4316-002 | 2 .厚度系统 | 选择页探针 | 选择页探针 | 以太网 | 多达6通道机架 | 请求的信息PV-1000厚度系统-2 | ||||||
| 8000-4316-003 | 厚度系统-3 | 选择页探针 | 选择页探针 | 以太网 | 多达6通道机架 | 请求的信息PV-1000厚度系统-3 | ||||||
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| 行业 | 测量类型 | 应用程序 |
|---|---|---|
| 太阳能 | 计量 | 晶圆弯曲和翘曲 |
多通道厚度，TTV和弓测量模块，用于太阳能/光伏晶片和其他材料的过程监测。
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