设备的设置

设备使用

设置:

  • 电源为自动模式。过滤器是100赫兹
  • 采样速率是1000采样秒
  • 头部在漫反射模式下操作(非镜面/倾斜)

验证设置

在没有目标的情况下,通过在旋转工作台上执行全跳动扫描来验证安装。扫描前应用异丙醇清洗,并让其干燥。这样可以减少灰尘或污垢的积累,从而产生错误的跳动读数。

旋转工作台360度的跳动,没有相机罩在适当的地方是上述。请注意,当舞台旋转时,情节的嘈杂部分就会出现。你可以看到,当旋转停止时,读数是非常低和稳定的。请注意,第二次革命产生了稍微不同的跳跃。

。Pk-pk跳动不确定度约为+/- 5um。所看到的噪声是由于舞台的表面光洁度影响激光功率。

在用异丙醇清洁以清除任何灰尘或碎片后,将护罩放置在安装在光学工作台上的旋转台上。

盾牌的四角都是这样量的。记录了旋转台的旋转程度。在所有测量开始之前,激光头归零(180°位置开始),因此只进行相对测量。旋转的程度是这样选择的,激光光斑不是在一个洞里,在一块粘贴或离开屏蔽。需要注意的是,旋转阶段确实有一些跳动,而且它不是完全可以在旋转之间重复的。这可能是由于非重复的轴承跳动。

相机盾

摄像机护罩位于旋转舞台的中心,激光被偏移,这样当舞台旋转时,激光就会击中所有四个角。记录旋转程度,以便重复。

位移带图

2的例子nd正在测量摄像机屏蔽。停止工作台旋转并进行测量的位置。这些大尖刺是激光点在盾外的地方,在一个洞里,或者在一个垂直的表面上运行的时候。

程度的旋转 旋转台/无屏蔽 1日相机盾 2号相机盾
0 2µm 2µm 1µm
108 0 0 1µm
180 1µm 11µm 14µm
278 3µm 3µm 6µm

结论

观测到很高的分辨率;盾牌看起来很平。客户应该意识到,任何设备的安装都需要考虑测量阶段的运行情况,因为它会显著影响测量结果。这个实验中使用的旋转舞台可以5嗯耗尽,但在随后的测试中,大约2 - 3µm。

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