描述
[应用说明40418]
21圣世纪电子制造需要快速、精确的微型部件定位。对于许多装配线,过程控制已经从毫米到微米,甚至亚微米,精度。为了满足更高精度的需求,需要压电定位执行器和/或带有闭环反馈控制的音圈电机。
挑战
传统上,电容传感器的模拟反馈使常规定位阶段的闭环控制成为可能。然而,利用音圈电机或压电舞台可达到的极端精度,需要从数字位置传感器的运动舞台反馈。与模拟系统相比,数字闭环控制提供了更低的噪声、干扰和/或失真的功率效率。
解决方案
最近开发的数字电容传感器系统,现在可以从MTI仪器,提供闭环反馈的精密定位应用,包括压电驱动器或音圈电机。爱游戏ayxdota2这些传感器系统由数字电容探头和数字精确测量电容放大器组成。
在运行过程中,探头实时测量压电级位置。数字式精确测量放大器然后通过以太网输出将工作台位置发送到可编程运动控制器。
运动控制器将这些反馈信号与命令位置设定点进行比较,使控制器以亚微米的精度调整压电工作台。如果一个设置点的变化被命令,或一个过程扰动发生,控制器执行计算基于变化和返回一个值,把运动阶段准确地在它被命令的地方。整体性能取决于如何快速控制器响应与所有定位组件和反馈传感器。
好处
MTI的数字电容探头的特点是非接触测量零机械负载。爱游戏信誉MTI的数字精确测量电容放大器作为一种有效的数字位置控制传感器。因为它提供以太网输出,数字精确测量放大器可以位于远离控制器。只要在控制器的循环控制周期内读取位置,多个探头就可以联网,而不会产生信号退化。
在这个典型的闭环设置中,一个高压放大器驱动电机。对于精密定位应用,电机可以是压电级或音圈电机。可编程运动控制器使用传统的PID回路。
控制回路测试配置具有一个压电阶段从压电系统耶拿,驱动的高压放大器也从压电系统耶拿。可编程运动控制器是一个英特尔Atom CPU实时操作系统软件。RTOS避免了典型Windows环境中的延迟。
