描述
电容系统Excel的一个特定领域是复杂透镜系统的高分辨率聚焦，例如原子力显微镜，视觉检查机和光刻工具中的那些。
在多百万美元的光刻工具中，高精度，纳米分辨率和最大热稳定性绝对关键，以保持适当的焦点并获得小于45纳米的集成电路线宽。此外，大多数系统需求低功耗和最大散热，以消除温度梯度的任何不利影响。MTI的应用和设计团队开发了一种多通道，电容基础的解决方案，具有0.1纳米的测量精度。
MTII设计了探头放大器，用于使用现有电源和系统总线直接集成到客户的控制系统中。特殊设计考虑因热稳定性和长期电子漂移，为生产环境提供多年的故障运行。