描述
说到光刻，我们的传感器有多精确?
精确到可以测量:
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由D. Carr和H. Craighead拍摄，康奈尔世界上最小的吉他长10微米，大约是一个单细胞的大小，有6根弦，每根弦宽约50纳米，或100个原子。它由康奈尔大学的研究人员用晶体硅制成，展示了新一代机电设备的新技术。 |
即使是世界上最小的吉他，2微米的尺寸对MTI来说也没有任何问题电容探针。电容系统擅长于复杂透镜系统的高分辨率聚焦，如原子力显微镜、视觉检测机器和光刻工具。
在一种数百万美元的光刻工具中，精度高，纳米分辨率最大的热稳定性对于保持适当的聚焦和获得小到7纳米的集成电路线宽度是绝对关键的。大多数系统需要低功耗和最小的散热，以消除温度梯度的任何不利影响。MTI的应用和设计团队开发了一个多渠道,电容基于解决方案的测量精度为0.1纳米。那是。微米的!
MTII设计了探头放大器，利用现有的电源和系统总线直接集成到客户的控制系统。特殊的设计考虑到热稳定性和长期电子漂移，在生产环境中提供多年无故障运行。
MTI的电容系统的工作效果和激光干涉仪系统一样好，但成本却低得多。当你需要控制和监控最细微的细节时，联系一个MTI的工程师帮助您编排解决方案。