描述

使用压电堆叠致动器(豌豆)的定位阶段具有非常高的分辨率。然而,由于压电材料的固有滞后非线性和与这种控制器相关联的相位滞后,难以使用传统的线性控制器实现精确的动态运动跟踪。电容传感器非常适合通过闭环反馈测量实际压电阶段位置并校正固有的非线性。他们有稳定,带宽和高分辨率所需的工作。

MTI的几种电容产品可根据所需的界面类型提供。所有放大器都使用类似的探头。选择探测所需的范围宣传册

MTI.累积9000.最多可通道两种模拟定位测量功能。放大器具有内置的通用电源。在订单时选择环路带宽过滤器。

MTI.AS-500.是一个多通道机架系统,使用AS-563 PA放大器板最多6个测量功能。它有一个内置的通用电源选择循环带宽过滤器时的顺序。

MTI Microcap板是一个小型OEM风格板,具有1个模拟测量功能。没有电源包括(需要±15VDC)。

MTI的新东西数字累积还能够测量致动器位置并使用其数字输出直接与数字PID控制回路(National Instruments或等效)和HV放大器通信以定位舞台。数字累积具有数字控制过滤器(5kHz到1Hz)和数字控制测量范围,以微调系统并调整闭环带宽。目前,固有的延迟是1毫秒,但MTI正在努力进一步减少这一点。压电位移

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