描述
使用MTI的电容式厚度计Proforma 300i，带有导电晶圆和薄膜
g =（a + b + t1 + t2），其中g是两个探针之间的固定间隙
当制造厚度测量T2时，T2可以在T2（膜厚度）上时，当T2只是空气时0厚度。因此，如果薄膜具有1（与空气相同）的介电常数，则T2在实际膜厚度T2之间变化。一些航空凝胶薄膜具有近1的介电常数。
T2的表观厚度= T2（1- * 1 / k），其中k是系统的介电常数
| 电影媒介 | 介电K. | T.2表观厚度 |
| 空气 | 1 | = 0. |
| 介电 | 2 | = 0.5 * t2 |
| 介电 | 5. | = 0.8 * t2 |
| 金属或si | 无限 | = T.2 |
示例使用具有各种介电常量的情况场景：
假设Proforma 300i用没有薄膜的1 mm Si晶片校准：
- 如果我们要用一个带有10μm膜的1 mm晶片，那么介电常数为2，那么晶片将测量为1.005 mm厚。
- 如果我们用10μm薄膜插入1 mm晶片，则具有5的介电常数，则PF300i将达1.008mm厚。