描述
还记得那个缩写词GIGO吗?垃圾进垃圾出，既适用于原材料也适用于编程。蓝宝石晶片需要有一定的质量才能保证最大的产量。
- TTV、Bow、Warp过大会导致LED过早失效。
- LED制造商需要检查进厂晶圆。
- 晶圆生产商也需要检查和控制TTV，翘曲。
蓝宝石晶片市场在LED制造业增长的推动下正在蓬勃发展。虽然自2011年以来价格大幅下降，但晶圆的尺寸却从2英寸大幅增加到6英寸以上。尺寸的增加增加了显著的总厚度变化(TTV)的可能性，弓和翘曲。
晶圆片和相关的加工成本使得在生产前评估晶圆片非常必要。如果没有对自动化系统的大量投资，那么可供选择的方法就很少。爱游戏ayxdota2MTI仪器公司非接触式电容探针和新数字Accumeasure放大器是理想的测量蓝宝石晶片厚度由于高精度和抗扰性光学效果。传统的光学厚度测量只能在某些表面处理上工作，而MTI电容探头可以测量切割、研磨、研磨和抛光的晶圆(包括蓝宝石上的硅)的厚度。
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在电容探头和接地面之间放置一种介质(非导电)材料就形成了一个电容电路，可以通过分析来确定总厚度。 |
设置简单快捷，简单确定探针的范围限制(通过调整高度，直到放大器上的指示灯刚刚变成绿色)，在第一个样品厚度处进入零点，按下校准，然后将一个已知厚度的晶圆片放在探头和接地面之间。现在输入已知的厚度到第二个样品厚度，并校准第二个样品。这保存了介电常数，将用来测量所有剩余晶圆片。
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| 插入一个未知厚度的晶圆片。晶圆片的厚度显示在左上角。 |
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你需要什么:
- 数字AccumeasureTM电容放大器
- D100或D110电容探头
- 电介质夹具
- 24伏直流电源
- 微型USB电缆
- 笔记本电脑或台式电脑
的AccumeasureTMD测量程序包括与购买的精确测量TMD系列电容放大器。
用于测量船首和经度。
建立一个精确的三点参考平面来固定晶圆片，然后从三点平面的高度减去晶圆片的厚度来计算翘曲度。看到MTI的应用笔记如何计算晶圆测量。数字AccumeasureTM电容放大器也适用于其他非导电商品的测量，如塑料、玻璃、光盘、纸张、塑料和橡胶等。爱游戏ayxdota2MTI仪器公司提供几种风格和类型非接触式传感器可以根据你的具体要求进行定制。如果你有一个困难的应用程序要解决，联系我们经验丰富的应用工程师团队世卫组织将全面分析您的需求，并指导您制定切实有效的解决方案。