光伏/太阳能测量系统
用于太阳能/光伏晶圆的过程监控
多通道厚度,TTV和弓形测量模块,用于太阳能/光伏晶片和其他材料的过程监控。
- 每个机架最多三个厚度通道
- 专有的MTII推/拉电容探头与所有晶片类型一起使用
- 最小,最大,平均和总厚度变化测量
- 弓测量(需要3个探针对)
- 集成数据出现和控制电子产品
- 快速以太网通信端口,每秒生产率最多5个晶圆
- 可扩展,用于增加厚度线扫描数量
- 用于现有晶圆处理设备的界面数字I / O.
- 基于Windows®的本地或远程数据监控的控制程序
- 基于Windows®的DLL包,用于与现有控制PC集成
- 可提供标准和定制探针尺寸
| 产品信息 | 技术规格 | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| P / N. | 模型 | 测量范围 | 脱扣 | 接口 | 类型 | 请求信息 | ||||||
| 8000-4316-001. | PV-1000厚度系统-1 | 选择PP探测器 | 选择PP探测器 | 以太网 | 最多6个频道架 | 请求信息PV-1000厚度系统--1 | ||||||
| 8000-4316-002 | PV-1000厚度系统-2 | 选择PP探测器 | 选择PP探测器 | 以太网 | 最多6个频道架 | 请求信息PV-1000厚度系统 - 2 | ||||||
| 8000-4316-003. | PV-1000厚度系统-3 | 选择PP探测器 | 选择PP探测器 | 以太网 | 最多6个频道架 | 请求信息PV-1000厚度系统--3 | ||||||
| 找不到你要找的东西?MTI提供定制解决方案更多信息关于MTI的定制解决方案 | ||||||||||||
| 行业 | 测量类型 | 应用程序 |
|---|---|---|
| 太阳能 | 计量 | 薄片弓和经线 |
多通道厚度,TTV和弓形测量模块,用于太阳能/光伏晶片和其他材料的过程监控。
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