晶圆检验和计量启动(形式300iSA)
观看MTI的Proforma 300iSA启动视频,了解如何启动这一成本效益硅片测量系统的使用。
MTI仪器的Proforma 300i是一种用爱游戏ayxdota2于测量导电晶片、硅片或镓晶片的系统。如果掺杂量较低且电阻足够长,系统可以测量,则其他类型的铟也可以测量。
MTI仪器的Proforma 300i可以测量爱游戏ayxdota2晶片的厚度和总厚度变化(TTV)。作为Proforma 300i的一个选项,它可以测量弓,它的扩展范围为1.7毫米,而标准设备通常测量的最大间隙为1.2毫米。如果测量较厚的晶圆,这可能是一个很好的修改或附加。
Proforma 300i由一个数字显示器、键盘和一个聚四氟乙烯涂层面板组成,该面板允许晶圆片和晶圆环在面板上滑动而不会划伤晶圆片。在机器的侧面有刻度盘,以调整和水平的脚,以确保最准确的读数。键盘允许手动输入和设置仪器,改变操作校准模式。
打开Proforma 300i时,让放大器热稳定或预热30分钟。冷却风扇可以始终保持开启,但也应在预热期间开启。
形式300i应该用已知校准厚度的晶圆或使用经过认证的厚度量块进行校准。为了校准Proforma 300i,将校准晶圆置于探头之间。通过使用键盘和箭头菜单功能,改变校准模式。然后将机器的测量设置为CAL STD,以“教导”机器使用的晶圆厚度作为标准,已知,测量。
Proforma 300i还包含一个USB端口,可以将收集到的数据保存在u盘上。每次测量完成后,将u盘插入USB,按下键盘上的Save按钮,即可保存数据。另一台计算机可以通过以太网连接来控制Proforma 300i。这个功能的连接/端口位于机器的背面。
要测量TTV,使用菜单,将模式更改为五点,并将晶圆移动到需要测量的点。在每个点后,按下选择键记录测量值。这将测量总厚度的变化和偏差之间的点。
通过将主菜单上的模式更改为Bow,也可以测量Bow。使用圆片环,测量一面,然后翻转圆片,然后测量第二面。也可以通过从键盘上选择save(保存)将测量值保存到thumb drive(拇指驱动器)。
为了测量更奇异的材料,如砷化镓或磷化铟,必须对Proforma 300i进行一些修改。拧下机头,用内六角钥匙将探头旋转180度。探头必须用量块撬开。重新安装螺钉并拧紧机头。然后,机器将需要使用上面讨论的技术重新校准。
需要注意的是,由于空气的介电常数,即使在探头下没有晶片,也会有测量读数。
观看MTI的Digita爱游戏幸运28l Accumeasure D400厚度测量视频,了解如何使用这个基于电容的非接触测量系统,以作出精确的厚度测量。爱游戏信誉
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