无需昂贵干涉仪的高分辨率传感器选择

高分辨率的应用并不总是需要干涉仪。如果要在微米到皮计的范围内进行精确的测量，那么一个MTI数字AccumeasureD100高清或D200系统可能是你需要的。激光干涉仪的售价超过1.5万美元，而且安装起来很困难。例如，你可能需要购买额外的光学设备来保证一个良好的返回信号，因为激光束必须反射到一个镜面或精密的反射器上，以便激光束以低于一定程度的反射角重新进入干涉仪的光学系统。

使用昂贵的干涉仪的缺点不是在那里结束。确保激光束的返回路径小于程度，可能需要向目标添加某种精度倾斜调整。另外，光路可能受温度和湿度影响，这增加了位移信号的失真或误差。干涉仪不需要接地目标，并且可以远离目标的几十毫米。相比之下，MTI的电容传感器只需要目标接地，并且传感器合理地接近目标。

利用电容进行精密测量的一个很好的例子是压电级。一般情况下，台阶靶可以接地，电容探头可以夹紧或安装在台阶上，以便电容探头监测压电材料的金属弯曲。因此，测量路径较短，受温度漂移的影响较小。MTI的小，紧凑，坚固的不锈钢电容探头也可以很容易地定制安装到运动阶段。

动态范围和传感器的选择

干涉仪通常需要一个条纹插补电路，允许比干涉仪激光光源的基本波长更高的分辨率。该电路计数光条纹，并解决出光源和回光源之间的相位差。为了实现皮计测量，条纹插补电路必须能够解决4000:1左右的相位差。这种电路可以增加显著的噪声，并提供相对读数。这意味着如果光束被阻挡，干涉仪就会失去对其位置(距离0间隙)的跟踪，校准就会失效。MTI电容探头作绝对读数;它不能忘记距离。

大多数干涉仪有一个巨大的分辨率与最大间隙距离。这是很好的，但通常是不必要的。MTI的电容探头在50hz带宽下的分辨率与最大间隙距离为1000000:1。例如,一个50µm范围探测器可以解决50点。那是惊人的120分贝的动态范围。