高分辨率传感器支持改进半导体计量和检查在生产过程中的关键点。由于半导体晶圆的制造可能需要数百个步骤和数周的制造时间，早期未被发现的缺陷可能会给下游带来代价高昂的后果。另外，由于半导体加工总是要求很高的精度，制造方法的进步似乎需要更精细的测量，永无止境的追求。
今天的计量仪器采用高分辨率传感器进行自动晶圆检测。分辨率，传感器能够可靠地指示的最小测量值，可以以尺寸单位给出，如纳米(nm)或微米(微米)。使用尺寸单位而不是伏特或刻度百分比的优点是它指示了传感器可以提供的最小位移测量值。位移是一个矢量，它的长度是经历运动的点从初始位置到最终位置的最短距离，量化了距离和方向。
如何减少不一致的晶圆测量
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半导体计量系统
TTV和弓测量，晶片厚度测量等产品来自MTI仪器
高精度，性价比高
虽然光刻工具成本数百万美元，半导体行业仍然希望测量解决方案结合高精度和成本效率。电容式探头的成本明显低于激光干涉仪，同时在稳定性、精度和分辨率方面匹配或超过它们。随着趋势，如更小的缺口，更高的产量，数字放大器，和三维集成电路基于电容的解决方案将越来越普遍地应用于半导体计量和检测。
小间隙，微米精度，热稳定性好
光刻术是一种将几何图案转移到基片上的微细加工工艺，它需要考虑到线与线之间的间隙越来越小。为了获得小到7纳米的IC线宽度，高分辨率是关键。然而，如果没有足够的散热，温度梯度可能会产生不利影响。正如本应用笔记所说明的，模块化电容系统可实现动态测量精度为0.1 nm(。0001microns) while using the existing power supply for lower power consumption and greater thermal stability.
产量增加，数字放大器和3D ic
基于电容的技术也有助于提高半导体的产量。今天，位移测量厚度和弓是可能的桌面单位这为全自动检测系统提供了一个具有成本效益的替代方案。电容传感还结合了纳米精度和稳定性。通过将探头电容直接转换为目标间隙(距离)，数字放大器消除了与模拟技术相关的误差。电容式位移探头甚至可以帮助半导体制造商利用垂直堆叠的硅片和芯片构建3D集成电路。
对MTI仪器爱游戏ayxdota2
爱游戏ayxdota2美国纽约州奥尔巴尼MTI仪器公司为半导体行业提供基于电容的精密测量解决方案。访问我们的网站以获得更多信息，并与我们联系有关本文中描述的基于电容的技术的问题。
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