对于非常小的位移测量,实现高分辨率和高精度通常是一项昂贵和复杂的工作。要达到所要求的精度(具有纳米精度的皮计分辨率),所选择的典型仪器是激光干涉仪。然而,MTI In爱游戏ayxdota2struments Accumeasure D200HD功放提供了卓越的准确性和稳定性,同时在使用方便的情况下节省了大量成本。
我们决定将AccumeasureHD和激光干涉仪进行比对。具体地说,这种比较着重于最小预期分辨率和噪声对精度的影响。微定位的应用包括在光刻过程中测量半导体晶圆的掩模高度。
测试和文章是由MTI仪器的工程师制作的。爱游戏ayxdota2奥尔巴尼,纽约(美国)公司记录了设置和结果,使读者能够决定哪个工具是正确的选择。
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